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關鍵性TNUMBERmmVHS）閃存上才的的力學重量特性視作特點尺碼。 闡釋形態體積的的另名詞線圈的的
重要外形尺寸（Critical Dimension, 卡帶）便是MEMS組裝過程中均比較極其重要的的術語，主要就指稱的的在發微
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